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激光三維掃描儀技術(shù)一般以數(shù)字化測量設(shè)備的輸出數(shù)據(jù)為原始信息來源。而激光三維掃描儀測量方法的好壞直接影響到對被測實體描述的精確、完整程度，影響到數(shù)字化實體幾何信息的速度，進(jìn)而影響到重構(gòu)的CAD 曲面、實體模型的質(zhì)量，并影響到整個工程的進(jìn)度和質(zhì)量。
三維掃描儀的數(shù)據(jù)采集方法在九十年代初，英國Renishaw 公司研制出一種三維力一位移傳感的掃描測量頭，該測頭可以在工件上滑動測量，連續(xù)獲取表面的坐標(biāo)信息，掃描速度可達(dá)8 米/秒，數(shù)字化速度最高可達(dá)500 點/秒，精度約為0.03mm。
干涉法是通過測量兩束相干光的光程差來計算物體的高度分布，測量精度相當(dāng)高，但測量范圍小，抗干擾能力弱，不適合測量凹凸變化大的復(fù)雜曲面。激光衍射法的情況與干涉法基本相同。層析法是近年來發(fā)展的一種技術(shù)，將研究的零件原形填充后，采用逐層銑削和逐層光掃描相結(jié)合的方法獲取零件原形不同位置截面的內(nèi)外輪廓數(shù)據(jù)，并將其組合起來獲得零件的三維數(shù)據(jù)。
基于相位偏移測量原理的莫爾條紋測量方法將光柵條紋投射到被測物體表面，光柵條紋受物體表面外形的調(diào)制，其條紋間的相位關(guān)系會發(fā)生變化，數(shù)字圖像處理的方法解析出光柵條紋圖像的相位變化量來獲取被測物體表面的三維信息。間隔法是利用光線飛行的時間來計算間隔，常采用激光和脈沖光束。激光三維掃描儀比較典型的應(yīng)用就是電子經(jīng)緯儀交繪測量法。這種方法測速慢，工作量大，測量相當(dāng)困難，但可以測很大的物體。